【材料】単結晶のダイヤモンドを低コストで量産する技術を開発＝産総研(96)
- 1 ◆KzI.AmWAVE ＠Hφ=Eφ ★ 2007/03/20(火) 20:41:22 ID:??? BE:55195182-2BP(135)
- 単結晶ダイヤ大型・低コスト化成功、半導体開発に朗報
大型化が難しかった単結晶のダイヤモンドを低コストで量産する技術の開発に、産業技術総合
研究所ダイヤモンド研究センター（茨城県つくば市）の藤森直治センター長らが成功した。
ダイヤモンドを基板に使った半導体素子の開発に弾みがつくと期待される。
ダイヤモンドは高温でも半導体性質が安定しているなど優れた特性を持つ。「ダイヤ半導体」が
実現すれば、現在の１０分の１以下に小型化することが可能で、省エネにも貢献すると期待されている。
従来の合成法ではダイヤモンドの薄板は３ミリ四方の大きさまでしかできなかった。
藤森センター長らはダイヤモンドの単結晶の成長面を前後左右に変えながら合成を進めることで
１センチ四方まで大きくすることに成功した。厚さは約０・５ミリ。この手法を応用すれば３センチ四方
程度まで大型化が可能で、半導体基板としての開発にメドが付くという。
コストも従来の数分の１以下に抑えられ、大量生産できれば、現在の最先端材料とほぼ同等に
できるという。研究チームは「１０年以内に実用化にこぎつけたい」と話している。
（2007年3月20日19時20分 読売新聞）
http://www.yomiuri.co.jp/science/news/20070320ik21.htm
産業技術総合研究所プレスリリース
大型単結晶ダイヤモンド・ウェハ製造技術を開発
http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2007/pr20070320/pr20070320.html
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